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文章从中尺度气象数据分析入手，对海上和陆上风电场发电量的预测进行分析研究，具体阐述了该方法对风电场的限定条件，通过分析中尺度数......
采用LIGA工艺制作的高性能MEMS毫米波滤波器是当今无线通信领域具有挑战性的课题之一。与传统的微带传输线不同，该MEMS毫米波滤波器......
纳米压印光刻技术已被证实是纳米尺寸大面积结构复制的最有前途的下一代技术之一.这种速度快、成本低的方法成为生物化学、μ级流......
介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究,讨论了微流量计的结构和工作原理,设计和研制了......
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该......
研究了Ni MoS2 自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌 ,并分析其摩擦特性 ,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大 ;......
Acidity-triggered TAT-presenting nanocarriers augment tumor retention and nuclear translocation of d
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
气道黏液高分泌足慢性气道疾病如慢性阻塞性肺疾病、支气管哮喘、肺囊性纤维化、支气管扩张等共同而重要的病理特征之一,与气道疾......
设计制作了一种三角形结构的金属材料光热驱动微开关。通过理论分析和ANSYS仿真，揭示了光热偏转量与三角形结构的微悬臂倾角之间的......
综述了微细电火花加工的基本原理及最新研究进展.比较了LIGA技术与微细电火花加工的特点与应用.简要分析了微细电火花加工的关键技......
光谱仪作为一类重要的测试仪器,随着微光机电系统的发展,其微型化趋势日益明显.光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代,经过十......
对二甲基丙烯酸酯进行原子转移自由基(ATRP)交联聚合,通过示差扫描量热方法研究了过渡金属卤化物、配体和反应温度对二甲基丙烯酸......
太赫兹技术将在未来高精度频谱探测技术、高分辨率成像和高性能通讯等应用前景良好。太赫兹技术处于电子学与光子学领域的交叉领域......
提出了用于电子纸的微结构金属模具的＂选择生长＂方法,即通过在金属基材上形成选择性的导电与不导电图形,来制作深纹的＂微杯＂金属模具。......
微型构件不仅可以用硅工艺制造,而且可以通过精密工程、激光烧蚀、微电子放电加工、RIE和LIGA技术等许多其他技术来完成.本文展示......
目的研究大鼠坐骨神经结扎模型的降钙素基因相关肽（calcitonin gene—related peptide，CGRP）的时空变化规律，为探讨其在神经再生中的机......
提出了基于电子束的LIGA(Líthographíe,Galvanoformung,Abformung)技术新概念.根据Grune公式就电子束能量对抗蚀剂刻蚀......
目的比较不同子宫动脉处理方法在腹腔镜下子宫次全切除术中的临床意义。方法 2010年5月～2011年5月,行腹腔镜下子宫次全切除术124例,......
进行了多处损伤平板的剩余强度试验研究，得到不同裂纹几何平板的剩余强度。试验结果表明主裂纹长度增加使平板的剩余强度减小；对相同......
目的 探讨三维超声在膝关节闭合性韧带损伤中的临床应用价值及优势.方法 78例临床高度怀疑膝关节闭合性韧带损伤患者分别进行常规......
简述了微型行星齿轮减速机构的优点及应用前景，对现阶段微型齿轮的各种制造工艺进行了分析、比较，介绍了当前国内外微型齿轮机构自动......
文章概述了超微步进电机的原理设计、结构设计、加工方法以及该电机的扫描电镜照片等。该电机的转子和定子由LIGA技术制造完成，线圈......
以正交实验设计为研究方法,对采用负性光刻胶（SU-8）加工高分辨率和高深宽比微结构进行了工艺研究,得出：前烘温度与前烘时间对光刻质量......
LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系。利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验，获得了其应力一应变曲线......
建立了一种简单、高效的芳卤和含氮杂环偶联方法。以10％（摩尔分数）CuI为催化剂、1．1eq．Nail为碱时，芳基碘、芳基溴和大部分芳基氯能够高......
使用同步辐射光和X射线掩模板的LIGA技术能够制造大深宽比的三维微结构.详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造,包......
微机电系统的发展，对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术，难以进行真三维......
复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关......
介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站，研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响；对深度同步辐射光刻扫描台的......
微机电系统（MEMS）技术近年来的飞速发展，为引信的发展带来了其它技术不可比拟的技术支撑。MEMS技术能够保证引信机构的微型化以及其稳......
微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。硅微机械加工工艺是......
根据微机电系统（MEMS）加工工艺特点和初始位置定位机构的设计要求,设计了两种MEMS初始位置定位机构的结构方案.通过力学分析,求出了......
结合国内外微细电化学加工技术的最新进展,系统地综述了微细电化学加工在多个方面的研究情况和工艺特点,例如LIGA工艺、用电化学隧......
本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺。对LIGA重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了......
不同加工方法所产生的误差会有不同特点,鉴于未见MEMS领域误差特点研究的文献,采用采样设计对比法检测了微型齿轮的齿顶圆半径偏差......
介绍了微细群电极的应用情况，分别给出了LIGA方法、电火花超声复合反拷加工法和电券花线切割加工法制作群电极的工作原理，并对这些工......
介绍了MEMS技术的总体概况;阐述了MEMS加工技术的主要内容、特点和发展趋势:说明了MEMS加工技术的应用方向;提出了发展我国MEMS技......
由于MEMS技术的特点,使其在引信中得到越来越广泛的应用。引信MEMS安全系统采用MEMS机构代替传统机电装置,为引信实现微小型化,进......
为了得到微米级的微型结构，先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微孔结构，并以此和光刻成型的微结构作为模具，进行了微......
概述性地介绍了微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem———MEMS)的定义及其特点。从理论基础、技术基础和应用研究三方面阐述......
MEMS(微机电系统)是 21 世纪科技与产业的热点之一, 而微细加工技术又是MEMS 发展的重要基础。LIGA(X 射线深层光刻、电铸成型和微......
本文对大深宽比微加工工艺进行了研究。工艺采用有机玻璃为模具,248nm KrF准分子激光为加工光源,电铸镍为微结构层,与传统MEMS加工......
MEMS(微电子机械系统)是21世纪科技与产业的热点之一,而微细加工技术又是MEMS发展的重要基础。在MEMS领域中,常需要用到具有一定厚......
微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。......
